微机电微波／射频开关的力学分析及其工艺研究

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chijb

【摘要】

：

文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试.微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通.考虑

【作者】

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茅惠兵忻佩胜胡梅丽赖宗声

【机构】

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华东师范大学

【出处】

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微电子学

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

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射频开关微机电微波力学分析共平面波导悬管梁插入损耗隔离度制备工艺 MEMS MW/RF switch Cantilever Coplanar

【基金项目】

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国家重点基础研究发展计划(973计划)，上海市AM基金

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文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试.微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通.考虑到微机电制备工艺的兼容性,选择PECVD生长的氮化硅作悬臂梁,聚酰亚胺作牺牲层.测试结果表明,研制的微机电开关在0.5～5 GHz的范围内插入损耗为2 dB,隔离度达30～50 dB.

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