【摘 要】
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We demonstrate integrated lithium niobate[LN]microring resonators with Q factors close to the intrinsic material absorp-tion limit of LN.The microrings are fabricated on pristine LN thin-film wafers thinned from LN bulk via chemo-mechanical etching withou
【机 构】
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State Key Laboratory of High Field Laser Physics and CAS Center for Excellence in Ultra-Intense Lase
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We demonstrate integrated lithium niobate[LN]microring resonators with Q factors close to the intrinsic material absorp-tion limit of LN.The microrings are fabricated on pristine LN thin-film wafers thinned from LN bulk via chemo-mechanical etching without ion slicing and ion etching.A record-high Q factor up to 108 at the wavelength of 1550 nm is achieved because of the ultra-smooth interface of the microrings and the absence of ion-induced lattice damage,indicating an ultra-low waveguide propagation loss of ～0.0034 dB/cm.The ultra-high Q microrings will pave the way for integrated quan-tum light source,frequency comb generation,and nonlinear optical processes.
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