导热金刚石同大尺寸芯片的低温烧结银连接工艺

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chouser1
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通过高导热银浆实现了连接大面积(>100 mm2)半导体硅片和金刚石的低温低压烧结技术.通过对金刚石表面镀覆金属薄膜,增强同烧结银界面处固态原子扩散,开发了商用烧结银膏在200 ℃下低温烧结工艺,得到金刚石-硅的均匀连接界面,计算得到孔隙率约为9.88%,中间烧结银层等效热阻约为1.38×10-5m2·K/W.
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