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具有不同孔径尺寸和孔隙率的多孔硅在不同的MEMS中可作为功能结构层和牺牲层.简要介绍了多孔硅的结构和制备方法;与体微机械和表面微机械加工技术相比,多孔硅技术的优势被详细阐述;针对多孔硅材料的性质,讨论了多孔硅在不同领域的应用.
多孔硅及其在MEMS中的应用
【摘 要】
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具有不同孔径尺寸和孔隙率的多孔硅在不同的MEMS中可作为功能结构层和牺牲层.简要介绍了多孔硅的结构和制备方法;与体微机械和表面微机械加工技术相比,多孔硅技术的优势被详
【机 构】
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天津大学电子信息工程学院
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2003年1期
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