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一种太阳能单晶硅片的清洗工艺
一种太阳能单晶硅片的清洗工艺
来源 :清洗世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hero_1205
【摘 要】
:
本发明涉及一种太阳能单晶硅片的清洗工艺,其特征在于将太阳能单晶硅片依次经过喷淋、脱胶、自来水漂洗、清洗剂超洗、纯水漂洗工序,之后,先在离子水和氢氟酸的混合液中浸泡一定
【出 处】
:
清洗世界
【发表日期】
:
2011年12期
【关键词】
:
单晶硅片
清洗工艺
太阳能
自来水
清洗剂
混合液
氢氟酸
离子水
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本发明涉及一种太阳能单晶硅片的清洗工艺,其特征在于将太阳能单晶硅片依次经过喷淋、脱胶、自来水漂洗、清洗剂超洗、纯水漂洗工序,之后,先在离子水和氢氟酸的混合液中浸泡一定时间,
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