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给出了薄膜气敏材料性能的测试结果：存在最佳灵敏度膜厚l *（ l *≈1500?）；动态特性；膜越薄响应越快；存在最佳掺杂（ CeO2）量x%，x的取值范围为5~15。提出了复合绝缘膜Si/SiO2/Al2 O3衬底；提出了研制薄膜的粉末溅射；给出了研制电导气敏薄膜元件的工艺流程，并对各工艺进行了必要的说明。