【摘 要】
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为了解决高温恶劣环境下压力测量问题，设计了一种大压力、高过载、耐高温、耐恶劣环境的小体积压差传感器。通过有限元分析对传感器绝缘体上硅（silicon on insulator，SOI）压力敏
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所
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为了解决高温恶劣环境下压力测量问题，设计了一种大压力、高过载、耐高温、耐恶劣环境的小体积压差传感器。通过有限元分析对传感器绝缘体上硅（silicon on insulator，SOI）压力敏感膜片结构进行优化设计，使其能够满足恶劣环境的使用要求。通过试验证明这种压差传感器具有良好的耐高温、耐恶劣环境的特性。
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