【摘 要】
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1.前言基于平面镜干涉仪的坐标测量系统广泛地应用于计算及为半导体制造业而设计的平板印刷装置。平面镜干涉仪的优先选用是由于其双功能造成的,它既可以作为直边导向轴,也
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1.前言基于平面镜干涉仪的坐标测量系统广泛地应用于计算及为半导体制造业而设计的平板印刷装置。平面镜干涉仪的优先选用是由于其双功能造成的,它既可以作为直边导向轴,也可以作为测量距离和角度的镜靶。它允许在 x-y 面上密切结合测量图形,并且比仅根据反射镜靶
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