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为了解决迭代法在反演透明衬底透明膜找偏参量时的出错问题，采用理论与实验相结合的方法，对透明衬底透明膜椭偏数据处理进行了理论分析和实验验证，找到了当薄膜折射率接近衬底折射率时，椭偏数据反演就会出错的原因。据此提出了分段遍寻迭代搜索法，以LABVIEW为开发工具，成功设计和编写了相应的数据处理程序，最后对一些样品进行了实际测量反演并与文献结果作了比较。结果表明，该程序能正确反演透明衬底单层透明膜的参量，并具有反演速度快、精确度可达0．03nm、稳定性好等特点。