一种微功耗扩散硅式光纤压力传感器

来源 :工业仪表与自动化装置 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangkaihao_2008
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本文介绍了一种新结构型的光纤传输压力传感器,其敏感元件采用差接扩散硅变片,电探头部分采用微功耗电路,检测信号以脉冲位置调制。文中对该传感器的原理进行了详细阐述,并对单片应变片的特性实验作了简要介绍。有一定参考价值。 In this paper, a new type of optical fiber transmission pressure sensor is introduced. The sensing element uses differential diffusion silicon variator. The electric probe adopts micro-power circuit and the detection signal is modulated by pulse position. In this paper, the principle of the sensor is described in detail, and the characteristics of the monolithic strain gage are briefly introduced. Have some reference value.
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