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为了改善对准精度,对100 nm级线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴离轴混合对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中.掩模硅片自动对准算法决定机器坐标系、掩模坐标系、硅片坐标系相互的位置关系,可很好地校正由掩模硅片引起的平移、线变、旋转、正交性的偏差.
掩模硅片自动对准误差校正算法
【摘 要】
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为了改善对准精度,对100 nm级线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴离轴混合对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中.掩模硅片自动对准算法决定机器坐
【机 构】
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四川大学光电科学技术系,四川大学光电科学技术系,中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2005年1期
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