【摘 要】
：
该传感器系以低阻单晶 Si 为衬底(兼下电极)、透水 Au 膜为上电极、多孔 Al_2O_3为介质的 MOS 电容结构。外界气相中的水分子透过 Au 膜上电极,为 Al_2O_3孔壁所吸附,并与外
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,
论文部分内容阅读
该传感器系以低阻单晶 Si 为衬底(兼下电极)、透水 Au 膜为上电极、多孔 Al_2O_3为介质的 MOS 电容结构。外界气相中的水分子透过 Au 膜上电极,为 Al_2O_3孔壁所吸附,并与外界水分压达成动态吸-脱附平衡,传感器就有稳定的电容值。外界湿度(水含量)变化时,Al_2O_3孔壁吸附的水分
The sensor is a low resistance single crystal Si substrate (with the next electrode), the water-permeable Au film is the upper electrode, porous Al2O3 dielectric MOS capacitor structure. Moisture in the outer gas phase passes through the upper electrode of the Au film and is adsorbed on the pore wall of Al 2 O 3 and reaches the equilibrium of dynamic desorption-desorption with the outside water pressure. The sensor has a stable capacitance value. Moisture (water content) changes, the pore water adsorption Al 2 O 3 wall
其他文献
本文分析了与旅游有关的4个产业部门(包括交通、餐饮、旅游、酒店)等11个产业的季度营业收入与经济增长的关系,运用到了协整检验和格兰杰因果检验。结果表明在中国经济增长和
机电设备安装中会遇到各种问题，对常见问题进行细致探究，对于提高机电安装质量，保证设备的安全运行具有重要意义。本文分析了机电设备安装的特点，列举了机电安装中常见的技术问题
为落实中国制笔协会六届一次理事（扩大）会议的各项工作和全国制笔科技会议提出的实现制笔强国的宏伟目标，推进我国制笔行业实施科教兴业的发展战略，进一步发挥专家的作用，中国制笔
水利水电工程的施工质量影响着洪涝灾害及水土流失的防治效果，当前水利工程发展速度的持续加快，滑模技术凭借其施工质量高周期短的优势在水利工程水电施工中得到了广泛的应用，并
电站锅炉是供电企业中的重要动力来源之一，关系到企业的供电安全和质量，与电力企业的发展有重要关联，同时也是我国税收的重要途径之一，其生产制造需要满足国家制定的相关标准和要
文章首先分析了巷道式堆垛机的结构及动作过程,然后分析了控制器的选件类型,最后描述了其编程思想。研究表明:采用PLC控制、利用光电检测、步进驱动等先进技术可实现其精确定
组织对于企业来说，就犹如工具对于人。《论语》早已讲过：“工欲善其事，必先利其器”，企业家的工具就是组织，能否用好组织是决定企业发展快慢的重要因素。
行政区划调整是影响区域经济发展的重要因素,地级层面行政区划调整尤为频繁,其增长绩效有待实证检验,本文以1995年广西玉林地区行政区划调整为案例,玉林地区一分为二,形成现
本文以企业知识员工管理实践为对象,通过知识员工的个性特点、自身需求、劳动成果、职业发展等特征研究,提出有关发展空间、目标管理、团队绩效、民主沟通、个性成长等人力资
本文基于GMM分析法利用2004—2014年中国对116个国家的直接投资存量数据,从对外投资动机异质性的角度分析了双边投资协定对中国对外直接投资的影响。结果发现,从整体上看,双