射频溅射功率和掺杂氢对硅氢薄膜结构的影响

来源 :武汉科技大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xinduolian1986
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用SEM和Raman谱对射频磁控溅射法制备的硅氢薄膜结构进行了研究,讨论了在100~400W范围内溅射功率和氢气分压对硅氢薄膜结构的影响。结果表明,制备的硅氢薄膜为致密的颗粒膜,添加氢气后,颗粒状的硅氢薄膜出现了粒径更为细小的纳米级小颗粒亚结构;随着氢气分压的增加,其直径先增加后减小,平均直径在氢气分压为50%时达到最大;随着溅射功率的增加,硅氢薄膜的颗粒平均直径增加,当溅射功率达到400W时,颗粒的平均直径为104nm。拉曼光谱分析结果显示硅氢薄膜为非晶态。
其他文献
教师是课程的实施者,是课程的解释者,在推行新课程的过程中,教师必须以新的观念来理解和实施新课程。当前教师的首要任务是根据新课程标准的要求来改变自身的教学行为。本文阐述
以炭黑和单质硅为原料压制成试样,在埋炭条件下,分别于1200,1300,1350,1400,1450,1500℃下高温烧结,获得不同温度点合成样品。采用XRD分析技术研究试样的物相演变过程,从而对C—Si系原
《红楼梦》塑造了众多的人物形象,他们各自具有独特而鲜明的个性特征,成为世界不朽的艺术典型。其中,林黛玉就是曹雪芹怀着真挚的爱意和悲悯的同情,用历史与未来、现实与理想、哲理与诗情,饱蘸着血与泪塑造出来的。在百花争艳的“女儿国”——大观园里,有妩媚丰美的薛宝钗,有风流娇艳的史湘云,有文采精华的贾探春……为什么唯独林黛玉那样牵动人的衷肠,具有经久不衰的人格魅力呢?带着这个问题,笔者进行了较长时间的研究和
随着时间的流逝,转眼间在教育这一行业里摸爬滚打已经有十多年的光景了。在这短暂而又漫长的教育生涯中,我学会了很多从未在书中学到过的东西,更加懂得了教育的重要性,也深深地体会到做老师的艰辛,特别是感觉到当一名班主任的不易。学校教育的核心是教书育人,而教育的实施就要抓好班主任的工作。只要班主任的工作到位,那么管理学生就会变得轻而易举。而当好一个班主任就必须把高度的责任心和使命感放在首位,还要有一个科学、
近年来,随着素质教育的不断深入,我们在体育教学目标的制定、课型的设计、现代技术与体育课教学的整合等方面取得了一定的成果,但却忽略了对体育教学评价的研究与实践,使得体育教学评价相对滞后。再加上其自身的特殊性,教师对学生的体育评价更容易步入误区。因此,建立体育教学中的评价至关重要。我们要把教学评价贯穿于课堂教学的全过程,对整个教学过程中学生的兴趣表现、运动参与、技能掌握进行全面评价。   体育课堂教学
一、加强书面表达的意义  高考试卷中,书面表达的分值占试卷总分的五分之一,仅次于阅读理解,因此提高学生的书面表达能力对于学生在高考中取胜至关重要。   二、进行系统的训练   近几年高考的书面表达形式各有不同,除了看图作文以外,一般都是给出一段文字,然后根据要求格式写出一篇完整的书面表达,字数一般规定在100词左右。鉴于此,要加强以下几方面的训练:  1. 能掌握最基本的五种简单句型,会用复合句、