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为了测量未知折射率或不透明薄膜的厚度,借助力传感器对传统迈克尔逊干涉仪加以改进,并运用等倾干涉的原理结合抵消法设计了测量装置。薄膜被等厚的空气层所代替,通过间接测量,避开了机械螺旋空程差造成的影响,使用力传感器有效减小了挤压形变引起的误差。该装置测量范围为0.3μm～1.5mm,分辨力为0.3μm。实测数据表明,该装置具有良好的重复性和准确性。