【摘 要】
：
制作了一种低驱动电压、位移达100μm的梳齿驱动器.为了增加驱动器的驱动位移,对驱动器的侧向稳定性进行了分析.根据分析结论,提出了一种采用小梳齿间隙,高纵/横向弹性常数比
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室,中国科学院研究生院
【基金项目】
：
国家重点基础研究发展计划资助项目（批准号：2006CB30040）
论文部分内容阅读
制作了一种低驱动电压、位移达100μm的梳齿驱动器.为了增加驱动器的驱动位移,对驱动器的侧向稳定性进行了分析.根据分析结论,提出了一种采用小梳齿间隙,高纵/横向弹性常数比预弯曲支撑梁,无初始交叠、梳齿长度线性递增的梳齿驱动器.根据稳定性以及驱动位移和驱动电压的设计要求设计了驱动器的具体参数,并进行了器件制作.测试表明,器件共振点在573Hz,Q因子为35.88,在100μm位移时驱动电压为71V,与理论计算值相差2.1%.
其他文献
目的探讨在放疗中心实施健康教育的方式及其效果。方法针对肿瘤患者及放疗工作人员的现状,通过心理学、社会学、管理学以及健康教育学等多学科交叉综合的方式进行分析,对患者
根据南方丘陵山地区域具体的情况,综合农田、草原、森林、湿地各类型生态系统服务评估指标,形成总体框架.筛选价值评估的核算方法和评价模型,以湘西州2016年度各主要粮食作物
在原FTS-Ⅰ型对向靶溅射基础上，设计制作了DFTS－Ⅱ型双对靶溅射仪，它具有低温、高速、成分偏离小和连续均匀溅射的特性，能够同时或交替溅射不同材料。使用DFTS－Ⅱ制备的Fe／Ti多层膜
提出了一种简洁的新型4H-SiC MESFET经验大信号模型.在Materka漏电流模型基础上,改进了沟道调制因子和饱和电压系数的建模方式,电容模型采用了改进的电荷守恒模型.参数的提取
目的 探讨在治疗过程中心功能改变与血尿酸水平变化的相关性研究以揭示两者之间的特定关联.方法 选择2005年1月～2009年12月在广东省茂名市茂南区鳌头卫生院确诊为慢性肺源性心
为抑制魏格纳-威利分布分析多分量信号时交叉项的干扰，提出了一种交叉项剔除新算法，该方法通过分析多分量信号及跳频信号的魏格纳-威利分布交叉项特性，得出其交叉项数目和频率的
通过公理Ａ的研究了公理Ａ自覆盖映射的逆极限序的极小集，证明了其拓朴维数为零。
在现代市场经济条件下,零售业的经济战略地位日显突出.为使管理者能客观评价企业自身竞争位势、改善企业经营,在深入研究有关竞争力评价理论的基础上,结合现代零售企业的特点
本文详细分析了文献[2],[3]提出的计算液态金属离子源发射电流的“恒定总电流”方法,指出了该方法的不足之处,并在此基础上提出一种基于欠松弛迭代过程的新的计算方法。此方