【摘 要】
：
无引线封装技术能够将采用SOI技术的MEMS压力传感器的工作温度提高到300℃以上,解决传统充油封装无法耐受高温的问题,然而,无引线封装亦对SOI压力敏感芯片结构提出新的挑战。
【机 构】
：
西安交通大学机械工程学院,中国电子科技集团公司第四十九研究所
【基金项目】
：
国家重点研发计划(2018YFB2002900)
论文部分内容阅读
无引线封装技术能够将采用SOI技术的MEMS压力传感器的工作温度提高到300℃以上,解决传统充油封装无法耐受高温的问题,然而,无引线封装亦对SOI压力敏感芯片结构提出新的挑战。为应对此问题,该文提出适用于无引线封装的压力敏感芯片总体结构,主要研究压敏电阻掺杂浓度选择、重掺杂引线盘和金属点电极、键合玻璃结构、硅玻键合静电密封环等内容。通过大面积重掺杂的引线盘及金属点电极的设计解决硅-玻璃在电路器件层的静电键合问题。在键合玻璃上设计通孔,其位置对应金属点电极,解决电极厚度对键合的影响问题,同时实现欧姆接触。设
其他文献
6月29日至7月5日，学院政委崔芝嵬率代表团赴英国警察大学、意大利圣安娜大学访问交流，磋商校际合作事宜。
2002年以来，在海军各级首长的关心、领导下，在海军军需物资油料系统共同努力下，海军的物资采购工作有了长足的发展，物资采购范围不断扩大，军事经济效益比较明显，既保证了采购物资的
目的 重新认识CT对上颌窦癌的诊断价值。资料与方法 回顾性分析经手术病理证实的资料较完整的10例上颌窦癌。结果 10例均为单侧发病，单纯窦腔内软组织肿物影3例件有窦腔扩大、
本文以航运企业ZH集团作为研究对象,通过分析ZH集团2009年~2016年财务状况,发现该集团存在一定的财务风险。在此基础上,运用因子分析法建立财务风险预警模型。由预警结果可知
在卡夫卡的创作生涯中,父子冲突是一个无法调和的悖论性命题,这个命题作为西方传统文化母题,蕴含了丰富的哲学和历史文化内涵.考察卡夫卡的日常生活和写作生活,发现这两种生
我国政府采购的改革试点始于1996年，自2003年1月1日政府采购法实施后，我国政府采购进入了全面推行阶段。目前这项改革取得了阶段性进展。初步形成了以政府采购法为基本法的一套
<正>为提高政府采购品目分类和编码的科学性、规范性和实用性,财政部在现行政府采购品目分类基础上,结合当前政府采购工作实际,参考
信息技术的飞速发展使企业在IT上的投资不断加大，IT投资不仅会为企业带来有形收益，还会改善企业未来的经营绩效，为企业创造无形价值和带来成长机会，这些由IT投资带来的无形收益能
目的：探讨氨茶碱对急进高原者抗缺氧的效应。方法：总共100名青年男性入选本试验。随机分为2组：氨茶碱组50名（A组）,对照组50名（C组）。所有参试者均为从四川省（海拔400米）招募的新兵。在
“质疑供应商投诉情况”一直是政府采购工作十分关注的一个主要内容。近年来，一些地区在总结汇报本地政府采购工作时，总会很突出地将“零投诉”作为自己的业绩来展示。那么，“零