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文章以亥姆赫兹方程为基础，推导了三维有限差分光束传输法（FDBPM），并在阵列波导光栅模拟计算中采用该方法对光场在阵列波导中的传输过程进行了计算和模拟。结果表明，采用三维FDBPM可提高计算精度。另外由于三维FDBPM对纵向步长不敏感，可通过加大步长来减少计算时间，在提高精度的同时，不影响计算时间。