双材料微梁阵列非制冷红外成像技术--微梁阵列的设计与制作

来源 :2004年实验力学在国防科研领域的应用研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong494

【摘要】

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本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--微悬臂梁阵列的设计和制作,它是SiNx/Au双材料单层膜结构,简化制作工艺、可以直接在空气中成像.实验使用了设计制作

【作者】

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董凤良潘亮张青川伍小平陈大鹏王玮冰郭哲颖

【机构】

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中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230037中科院微电子研究所,北京,100029

【出处】

：

2004年实验力学在国防科研领域的应用研讨会

【发表日期】

：

2004年10期

【关键词】

：

非制冷红外成像光学读出微悬臂梁阵列单层膜结构双材料梁

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本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--微悬臂梁阵列的设计和制作,它是SiNx/Au双材料单层膜结构,简化制作工艺、可以直接在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-bitCCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为5K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.

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