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低的输出噪声、小的上电漂移和强的抗扰能力是高性能微加速度传感器的基本要求.利用一些结构和电路上有针对性的设计,可以有效地提高器件在这三方面的性能.实际制作的样品表明,传感器开环的输出噪声已被控制在0.3 μV/√Hz,上电稳定后的漂移在100 μV内.
基于体硅湿法的高性能微加速度传感器技术
【摘 要】
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低的输出噪声、小的上电漂移和强的抗扰能力是高性能微加速度传感器的基本要求.利用一些结构和电路上有针对性的设计,可以有效地提高器件在这三方面的性能.实际制作的样品表
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
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探测与控制学报
【发表日期】
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2005年5期
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