【摘 要】
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30多年来,电子工程师一直认为设计“更小,更快,更廉”的电子器件的主要途径是半导体集成,而且朝着越来越精细方向发展的光刻工艺使集成度越来越高。但目前的情况表明,促使光
【机 构】
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ADI公司高速数据转换器部门 副总裁
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30多年来,电子工程师一直认为设计“更小,更快,更廉”的电子器件的主要途径是半导体集成,而且朝着越来越精细方向发展的光刻工艺使集成度越来越高。但目前的情况表明,促使光刻工艺越来越精细有着与一些基本的物理学定律和经济学规律
For over 30 years, electronics engineers have long argued that the primary way to design “smaller, faster, cheaper” electronics is through semiconductor integration, and lithography, which is moving in a more and more sophisticated direction, makes integration more and more high. However, the current situation shows that lithography process to promote more and more fine with some basic laws of physics and economics
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