【摘 要】
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用晶体制作各种器件时,首先要选取一定的晶向,然后切割成块体或片子。对某些器件来说,定轴精度要求较高。用X-射线定向仪可以进行精确定向(精度达15″),但往往在切割时又会
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用晶体制作各种器件时,首先要选取一定的晶向,然后切割成块体或片子。对某些器件来说,定轴精度要求较高。用X-射线定向仪可以进行精确定向(精度达15″),但往往在切割时又会产生较大的偏离。多年来切割硅片时,采用光相图法定向与内圆切割结合使用,精度
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