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Velocity-Verlet或ODE算法分析微粒的运动特征,涉及的偏微分方程存在求解困难、运算量大和使用效率低的难点.采用COMSOL Multiphysics 5.3a有限元软件,通过AC/DC模块中的边界条件设定可快速求解Laplace方程,为介电泳力的求解提供先决条件.后期根据软件提供的粒子追踪模块,将介电泳力、斯托克斯拖曳力、排斥力和浮力内联进粒子追踪模块的应力参数表中,设定固定的时间步长和范围对介电泳芯片的粒子受力运动问题进行了仿真.结果表明,该方法可以有效模拟微粒受介电泳效应的运动行为,并且