单道编码CCD细分直线编码器的研究

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提出了一种单道编码CCD细分直线编码器,论述了其位移连续码的编码理论及算法.阐述了该直线编码器CCD细分原理,并讨论了其测量精度(±1μm)及测量范围(200m).
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