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蒙特卡罗方法是一种统计模拟的方法，近年来国际上将其应用于计量学中的不确定度评定。对蒙特卡罗方法进行了系统的描述，就蒙特卡罗方法在计量中的不确定度分析中的应用进行了详细的论述。采用蒙特卡罗方法对微波功率座的测量问题进行了数学建模及蒙特卡罗仿真，对蒙特卡罗方法进行不确定度分析和评定的原理、步骤进行了阐述。给出了微波功率座校准因子的实测值、仿真值及不确定度评定结果。