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采用X射线衍射(XRD),MOCON透湿仪等研究了不同沉积压力下制备Parylene C膜的结晶度、水蒸汽透过性、拉伸强度、雾度、透明度随沉积压力的变化规律。结果表明,随着沉积室压力升高,Parylene C膜相对结晶度、透湿性能、拉伸强度、透明度下降,雾度增大。
沉积压力对Parylene C膜性能的影响
【摘 要】
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采用X射线衍射(XRD),MOCON透湿仪等研究了不同沉积压力下制备Parylene C膜的结晶度、水蒸汽透过性、拉伸强度、雾度、透明度随沉积压力的变化规律。结果表明,随着沉积室压力
【机 构】
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四川材料与工艺研究所,四川材料与工艺研究所,四川材料与工艺研究所,四川材料与工艺研究所,四川材料与工艺研究所 绵阳621900,绵阳621900,绵阳621900,绵阳621900,绵阳621900
【出 处】
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化工新型材料
【发表日期】
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2007年11期
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