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关于光学元件波面测量中的功率谱密度
关于光学元件波面测量中的功率谱密度
来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fuming
【摘 要】
:
讨论了光学件波面检测中,采用功率谱密度(PSD)作为重要评价参数的原因、相关的国际标准、PSD计算方法及PSD结果的评价准则等.虽然所进行的讨论主要是针对高功率激光系统中的
【作 者】
:
于瀛洁
李国培
【机 构】
:
上海大学精密机械工程系
【出 处】
:
计量学报
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
计量学
波面测量
功率谱密度
光学元件
Metrology Wavefront measurement Power spectral density Optic
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讨论了光学件波面检测中,采用功率谱密度(PSD)作为重要评价参数的原因、相关的国际标准、PSD计算方法及PSD结果的评价准则等.虽然所进行的讨论主要是针对高功率激光系统中的光学元件检测,但对于其它应用领域的检测也是有借鉴意义的.
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