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用射频磁控溅射法成功地制备了非晶碳薄膜薄膜。拉曼光谱表征表明所沉积的非晶碳薄膜是非晶结构，具有类金刚石特性。对所制备的掺氮非晶碳薄膜用光电子能谱和红外光谱进行了表征。同时还研究了两种薄膜的光学性质，为该类薄膜的实际应用提供了可靠的实验依据
非晶碳膜及掺氮非晶碳膜的制备及光学性质的比较
【摘 要】
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用射频磁控溅射法成功地制备了非晶碳薄膜薄膜。拉曼光谱表征表明所沉积的非晶碳薄膜是非晶结构，具有类金刚石特性。对所制备的掺氮非晶碳薄膜用光电子能谱和红外光谱进行了表
【机 构】
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同济大学材料学院,苏州大学物理系
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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1999年1期
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