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介绍了微电子机械系统(MEMS)技术的发展现状、加工工艺及产品市场。结合MEMS材料与加工技术,讨论了MEMS产品的封装技术及存在的问题,展望了MEMS技术的发展前景。
MEMS技术现状与发展前景
【摘 要】
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介绍了微电子机械系统(MEMS)技术的发展现状、加工工艺及产品市场。结合MEMS材料与加工技术,讨论了MEMS产品的封装技术及存在的问题,展望了MEMS技术的发展前景。
【机 构】
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美国加洲大学洛杉矶分校
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年08期
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