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运用Ansys模拟软件对不同厚度的微悬臂梁在同一电压下（未达到吸合电压）进行静电力分析，得到悬臂梁固定端的应力大小，同时得到此应力与厚度的关系。再根据力学相关解析式对固定端进行力学分析，通过比较两种方法得到的结论，发现结论是相反的，因此得出弹性模量E是决定微观材料性能的重要因素，以及静电力作用下的微悬臂梁存在机电耦合作用，单纯的力学解析式是没法精确计算得出的。