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微磨料气射流加工工艺在加工制作脆性材料微构件、微机电系统(MEMS)微器件以及脆性材料的平面图案、微细孔槽结构时具有高效率、低成本的优势,该文分析了微磨料气射流加工原理,总结了国内外研究状况、技术发展趋势和应用前景.
微磨料气射流加工的原理和应用
【摘 要】
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微磨料气射流加工工艺在加工制作脆性材料微构件、微机电系统(MEMS)微器件以及脆性材料的平面图案、微细孔槽结构时具有高效率、低成本的优势,该文分析了微磨料气射流加工原
【机 构】
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广东工业大学机电工程学院
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2004年4期
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