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为实现某类MOCVD设备中衬底的自动化上下料,提出一款三自由度搬运机器人机构.通过对设计约束分析,建立了其D-H坐标系,推导出该机器人运动学正、逆解,并用Matlab进行验证.最后,在ADAMS中对所建立的机器人虚拟样机进行了搬运仿真,证明该机器人能实现衬底的自动上下料.
三自由度搬运机器人运动学分析及仿真
【摘 要】
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为实现某类MOCVD设备中衬底的自动化上下料,提出一款三自由度搬运机器人机构.通过对设计约束分析,建立了其D-H坐标系,推导出该机器人运动学正、逆解,并用Matlab进行验证.最后
【机 构】
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南昌大学机电工程学院
【出 处】
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南昌大学学报(工科版)
【发表日期】
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2014年1期
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