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详细描述一种等离子体高效溅射系统及应用工艺.此种崭新的溅射技术结合了蒸发镀的高效及溅射镀的高性能特点,特别在多元合金以及磁性薄膜的制备,具有其他手段无可比拟的优点.
一种崭新的镀膜技术--等离子体束溅射
【摘 要】
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详细描述一种等离子体高效溅射系统及应用工艺.此种崭新的溅射技术结合了蒸发镀的高效及溅射镀的高性能特点,特别在多元合金以及磁性薄膜的制备,具有其他手段无可比拟的优点.
【机 构】
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Plasma Quest Limited,英国北京利方达真空技术有限责任公司,北京,100029;
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2005年1期
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