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本文对FeSiAl合金薄膜磁性材料进行了研究。我们采用了直流溅射的方法制取了FeSiAl合金薄膜,并且研究了各种溅射条件如输入功率,靶材与基板的间距等与成膜速率的关系。讨论了退火前后薄膜的晶体结构,电磁性能。
FeSiAl合金薄膜磁性材料的制备与研究
【摘 要】
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本文对FeSiAl合金薄膜磁性材料进行了研究。我们采用了直流溅射的方法制取了FeSiAl合金薄膜,并且研究了各种溅射条件如输入功率,靶材与基板的间距等与成膜速率的关系。讨论了
【出 处】
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上海钢研
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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苏州大学与上海钢铁研究所合作的江苏省重点实验室开放课题
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