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为了得到微机电系统（MEMS）加速度计硅-玻璃阳极键合的键合强度,进行了剪切破坏测试,并结合材料力学相关理论,得到键合强度表征方法.通过对实验数据的分析,制定键合强度的失效判据,提出了一种评价硅玻璃键合工艺质量的有效方法,在工程实际中具有一定的参考价值.
MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法
【摘 要】
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为了得到微机电系统（MEMS）加速度计硅-玻璃阳极键合的键合强度,进行了剪切破坏测试,并结合材料力学相关理论,得到键合强度表征方法.通过对实验数据的分析,制定键合强度的失效判
【机 构】
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华南理工大学电子与信息学院,工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室,北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2017年10期
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