专利名称:一种Ti-Mo-N多元硬质薄膜

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专利申请号:CN201110307386.7公开号:CN102409290A申请日:2011.10.11公开日:2012.04.11申请人:宁波市瑞通新材料科技有限公司一种用于切削工具表面的具有高性能Ti-Mo-N多元硬质薄膜,其是采用磁控溅射的方法在切削工具表面制备Ti-Mo-N三元硬质薄膜,主要通过优化多元薄膜的制备工艺参数,从而获得一种具有高性能Ti-Mo-N三元薄膜的切削工具,与TiN二元薄膜相比,成膜后切削工具试样外观表面平 Patent application number: CN201110307386.7 Publication number: CN102409290A Date of application: 2011.10.11 Date of disclosure: 2012.04.11 Applicant: Ningbo Ruitong New Material Technology Co., Ltd. A high-performance Ti-Mo- N multiple hard film, which is prepared by magnetron sputtering Ti-Mo-N ternary hard film on the surface of the cutting tool, mainly by optimizing the preparation process parameters multivariate thin film to obtain a high-performance Ti- Mo-N ternary thin film cutting tools, compared with the TiN binary film, the appearance of the cutting tool after filming surface roughness
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