8元线列高温超导薄膜红外探测器的实验研究

来源 :华中理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dreamagain1986
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对8元线列高温超导薄膜红外探测器进行了实验研究。高温超薄膜为采用电子束蒸发并后退火的方法制备的粒状YBa2Cu3O7-δ超导薄膜,器件的图形制备采用湿法刻蚀。探测器的光响应测试是在8-14μm的远红外区。探测器单元为20μm×100μm的微桥。
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