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探讨了硅片自动定位方法及软件控制原理,并提出了一种硅片自动定位技术的实现方法及软件控制方法,实现对硅片平边和V型槽及硅片中心的准确定位.
对硅片自动定位方法及软件控制原理的探讨
【摘 要】
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探讨了硅片自动定位方法及软件控制原理,并提出了一种硅片自动定位技术的实现方法及软件控制方法,实现对硅片平边和V型槽及硅片中心的准确定位.
【机 构】
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中国电子科技集团第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年12期
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