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<正> 由于半导体集成电路技术的普遍应用,传感器的集成化、多功能化得到人们的关注,所以各种传感器的研制工作都显得十分活跃。但目前使用的传感器大多是单一的功能,因此,针对每一个具体的测量任务,有许多种可能的测量方法和仪器去组成一种专用的测量系统。表1和表2示出了待测非电量的数值范围及测量不同待测量的敏感元件。