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采用磁控射频溅射法制备了ＡｇＣｏ颗粒膜；研究了薄膜成份及制备工艺对薄巨膜电阻效应的关系。在低Ｃｏ含量时，薄膜磁电阻变化率随着Ｃｏ含量的增加和退火温度物升高而变大。
AgCo颗粒膜的制备工艺及巨磁电阻效应
【摘 要】
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采用磁控射频溅射法制备了ＡｇＣｏ颗粒膜；研究了薄膜成份及制备工艺对薄巨膜电阻效应的关系。在低Ｃｏ含量时，薄膜磁电阻变化率随着Ｃｏ含量的增加和退火温度物升高而变大。
【机 构】
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华中理工大学固体电子学系,430074,430
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1998年5期
【基金项目】
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武汉市晨光计划资助
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