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以MeSiHCl2和EtOH为原料,分别采用溶剂法、酸吸收剂法、气-液相反应法合成了MeSiH(OEt)2,结果表明:溶剂法效果较好,产物含量高达78%左右;其最佳合成条件为:用正己烷作溶剂,MeSiHCl2和EtOH的摩尔比为1∶1.9,EtOH以一定的速度滴入MeSiHCl2溶液中,控制反应温度在33 ℃左右,反应时间2 h.