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为了减少三坐标测量机探针的系统误差,提高测量精度,根据三坐标测量机探针校准的原理,分析三坐标测量机在探针校准过程中产生探针系统误差的因素。在相同条件下,对标准球进行多次重复测量,将测量结果的平均值与标准值进行对比,获得探针补偿的修正值,用修正探针补偿值的方法来减小探针的系统误差。通过实际测量表明,该方法能有效地减少由于探针校准过程中生产的系统误差,明显提高了自动测量过程中采用多探针测量方案的测量精度。