激光干涉比长仪的新型瞄准方法——提高线纹尺的测量精度

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介绍一种在激光干涉仪上对线纹尺进行高精度瞄准的新方法——单狭缝多点采集系统。详细描述了其设计方案和工作原理,并介绍了确定刻线中心位置的计算方法、消除随机噪声的数字滤波法及对钟形曲线进行直线拟合的合适区段。实测数据表明,这种新型瞄准方法的测量不确定度有很大的提高 A new method of high precision aiming of line ruler on laser interferometer - single slit multi-point acquisition system is introduced. Described in detail its design and working principle, and describes the calculation method to determine the location of the centerline, digital filtering to eliminate random noise and bell-shaped curve fitted to fit the appropriate section. Measured data show that the new method of aiming accuracy of measurement has greatly improved
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