论文部分内容阅读
采用高纯铝靶和氮/氩混合气氛,在玻璃衬底上用直流反应磁控溅射法制备了AlN薄膜,用X射线光电子能谱(XPS)分析了不同衬底温度下样品的组成.结果表明,AlN薄膜主要含有AlN,存在少量Al2O3及一些其它杂质;随着基片温度的升高,AlN薄膜的纯度提高.
衬底温度对磁控溅射氮化铝薄膜组成的影响
【摘 要】
：
采用高纯铝靶和氮/氩混合气氛,在玻璃衬底上用直流反应磁控溅射法制备了AlN薄膜,用X射线光电子能谱(XPS)分析了不同衬底温度下样品的组成.结果表明,AlN薄膜主要含有AlN,存在
【机 构】
：
重庆大学数理学院应用物理系,重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
【出 处】
：
材料导报
【发表日期】
：
2004年期
其他文献
主要讨论了三维欧氏空间中的Mannheim侣线的性质,得到了空间中任意一条曲线为Mannheim侣线的充要条件并证明了Mannheim侣线的唯一性.
在中国《摩托车信息》杂志创刊25周年之际，接到编辑部约稿，希望我能为这个重大庆典写点什么之后，摩托这两个字就萦绕在我这个退休赋闲人的脑海里挥之不去……它勾起了我埋藏在心
通过球面波谱变换,将包围散射体的两同心球面上的声压分解为一系列传播形式已知的球面波单元,再利用波场的外推规则建立了两球面上相同阶次的球面波单元间的关系,在波数域中建立了球坐标系下入射与散射声场分离公式;运用分离得到的散射声压,即可重建和预测整个散射声场.为了克服声学逆问题的不适定性,提出了一种波数域的滤波技术;并且从理论上证明只需保证两全息球面足够接近就能克服分离公式的奇异性问题.数值仿真的结果充
醉酒驾车交通肇事案件在我国目前的刑法适用中是具有较大争议的。针对多年以来的司法实践,今年的刑法修正案增加了一项关于醉酒驾驶行为的定罪问题。对这类案件的犯罪行为人
研究了采用等离子辅助技术制备窄带滤光片的工艺.介绍了等离子辅助蒸镀系统的基本工作原理,描述了优化膜厚均匀性的过程.在有色玻璃上制备了由多层TiO2和SiO2薄膜组成的窄带
本文采用溶胶凝胶法和包埋法分别将对pH值和湿度敏感的指示剂修饰在光纤纤芯表面,制成了具有较宽检测范围的光纤pH传感器和光纤湿度传感器.通过X射线能谱仪(EDX)对所制备的pH
兴趣是最好的老师。培养历史学习兴趣是学好历史的重要的、必不可少的环节。怎样才能激发学生学习历史的兴趣呢？我在课堂教学中采取了以下几种方法的尝试。
基于光的色散和棱镜光谱仪的特点,采用等光程方法推导了紧凑累加型二棱镜系统二阶和三阶色散的表达式,并分析具体实例.通过计算机模拟得出二阶和三阶色散曲线,为可调谐激光的
在山西焦煤确定“十二五”实现“五建设”、“五翻番”、“五转型”奋斗目标,西山集团确定“十二五”实现“116611”奋斗目标的关键时刻,处于转型发展、跨越发展期的西山煤电
研究了含杂质三量子位Heisenberg XXX链中的纠缠现象,并给出了纠缠C的解析表达式.结果发现对杂质格点与正常格点间的纠缠,C只存在于J1>J(当J>0时)和J1>0(当J0且-2J