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使用墙式结构作为FED器件内的支撑,使用Algor专用力学有限元软件对器件各种结构的力学特性进行了数值计算,同时参照器件的电学特性后确定了支撑墙的分布密度、安装位置和装配误差等工艺参数,并完成了现有器件条件下的工艺实现,得到理想的结果.
FED器件的支撑结构设计和实现
【摘 要】
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使用墙式结构作为FED器件内的支撑,使用Algor专用力学有限元软件对器件各种结构的力学特性进行了数值计算,同时参照器件的电学特性后确定了支撑墙的分布密度、安装位置和装配
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年3期
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