【摘 要】
：
磁控反应溅射中的电压波动是行业中普遍公认的难点,我们将PLC逻辑控制与先进的模糊控制结合,建立模糊逻辑,根据理论及实践经验自行设计专家系统判断程序,根据内置的逻辑判断
论文部分内容阅读
磁控反应溅射中的电压波动是行业中普遍公认的难点,我们将PLC逻辑控制与先进的模糊控制结合,建立模糊逻辑,根据理论及实践经验自行设计专家系统判断程序,根据内置的逻辑判断及数据计算动态调整磁控反应溅射的电压——流量对应关系,减轻人为因素对产品质量造成的影响。这是一套磁控反应溅射电压控制的通用程序,在氮化铝反应溅射使用中电压的稳定性由目前行业中的波动±10V减低到了±1V,解决了氮化铝反应溅射电压波动大的难题,保证了生产的稳定。
其他文献
研究了不同捕收剂体系下,6种抑制剂对重晶石、方解石、白云石、蒙脱石和石英纯矿物的抑制效果,借助Zeta电位和红外光谱探究了抑制剂与纯矿物的作用机理。结果表明:无论是组合
以全叶苦苣菜种子和植株为材料,进行外植体的灭菌、植株再生体系建立研究。结果表明,全叶苦苣菜的种子和茎段经过灭菌,接种到1/2MS培养基上可获得无菌苗。用于愈伤组织诱导最
对霍尔元件的静态特性进行了测试,分析了测试中发现的现象,结果表明,霍尔元件的输入端和输出端在使用中没有严格的区别.最后作为应用给出了实例.
服务广西海洋经济的发展是涉海学科专业群发展的落脚点,其实现一是加强内涵外延建设,为海洋经济培养既好又多的专业人才;二是构建服务平台,为海洋经济发展提供强有力的技术支