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根据动能定量和薄板理论提出了一种新的脆性材料强度测试方法－－圆片冲击法。通过当硅较薄时偏离小挠度条件的实验校准，使该方法适用于各种厚度硅片的强度测量，进而制 硅片抗弯强度测试方法的国家标准。
GB／T15615—1995硅片抗弯强度测试方法研究
【摘 要】
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根据动能定量和薄板理论提出了一种新的脆性材料强度测试方法－－圆片冲击法。通过当硅较薄时偏离小挠度条件的实验校准，使该方法适用于各种厚度硅片的强度测量，进而制 硅片抗弯强
【机 构】
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中南工业大学应用物理与热能工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1998年1期
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