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为了有效去除噪声在LI/WIVS型两用表面形貌测量仪器标定中对区域表面形貌测量结果的影响，利用平均法和相减法分析了该仪器在确定噪声数值上的优劣性。其分析结果表明：在相同情况下，接触式表面形貌测量仪的测量噪声大于非接触式表面形貌测量仪的测量噪声；当测量次数减少时，利用相减法来分析噪声比平均法更可靠；想获得精确的噪声值时，平均法优于相减法，但其所需的测量次数却大大增加。