【摘 要】
：
为提高加速度传感器灵敏度,提出一种新的加速度敏感机制,并基于此原理设计了一种新的微机械谐振式加速度传感器结构。分析了加速度传感器的数学模型及影响灵敏度的关键参数,
论文部分内容阅读
为提高加速度传感器灵敏度,提出一种新的加速度敏感机制,并基于此原理设计了一种新的微机械谐振式加速度传感器结构。分析了加速度传感器的数学模型及影响灵敏度的关键参数,并以此为依据对传感器结构参数进行优化设计。采用扩散硅层作为谐振子,提高器件性能的同时简化了制作工艺,利用KOH溶液湿法腐蚀硅在各晶向上的各向异性,实现了支撑梁、谐振梁、质量块三者不等厚结构的制作。实验测试结果表明,加速度传感器在-1 gn～1 gn范围内的灵敏度为1.989 2 kHz/gn。
其他文献
介绍了H.264去块滤波的基本原理,并基于滤波强度预判的思想提出了一种快速去块滤波算法.通过软件实现验证了该算法在不影响解码图像质量的前提下较标准中的算法节省了约70%的
为提升差分码移参考DCSR（Differential Code Shifted Reference）超宽带接收机在窄带干扰环境中的接收性能,提出了一种基于Teager-Kaiser算子（TKO）的改进型DCSR接收机结构。通过TK
分析和研究了螺旋滤波器对于电磁波的影响以及衰减因数和滤波器品质因数的关系，并详细探讨了螺旋滤波器的设计方法，最后采用平行五腔的横向螺旋线耦合结构设计并实现了一种用于
H.264标准采用率失真优化（RDO）技术提高了编码效率,但这是以较高的计算复杂度为代价的.提出一种快速模式判决算法,利用早期的SKIP模式判决以及运动代价来减少待选的模式.实验表
分析影响循环流化床脱硫的因素，为实现锅炉燃烧脱硫提供理论依据。
基于射频指纹的室内定位算法有很多,现提出基于射频指纹的应用在煤矿巷道这种特有的环境特征的一种新的定位算法。根据无线信号的衰减特性,将距离接入点3m处的接收信号强度值
DIS-1000是洋铭科技与台湾儒园科技合作新开发的数字影音片库系统。它具有功能齐全、建置容易、管理方便、成本低、容量高、容易扩充的特点。其中专利的NeLDS近线磁盘柜，使数
一、构建“岗位主导、能力本位、学做结合”人才培养模式根据职业教育职业性、实践性、技能性的特点,围绕学生的职业岗位能力要求,以学生职业能力掌握为核心,专业技能培养为
本期介绍PDI高性能、高可靠750MHz放大模块以及光纤接收（放大）模块：
目的观察清热活血方对心梗后心室重构的改善作用并对其可能机制进行探讨。方法将心梗造模成功的50只Wistar大鼠随机分成5组,另设假手术组,共6组:假手术组、心梗模型组、阳性