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近日,Picarro宣布推出经我们完全优化的AMC监控系统——Picarro SAM(取样Sample、分析Analyze以及监测Monitor)。该系统由Picarro在基于CRDS的传感器组成,该传感器已集成到最新的采样系统中。SAM单元可提供高通量采样,而不会影响传感器的性能。
Picarro推出用于半导体晶圆厂份气体分子污染监测系统
【摘 要】
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近日,Picarro宣布推出经我们完全优化的AMC监控系统——Picarro SAM(取样Sample、分析Analyze以及监测Monitor)。该系统由Picarro在基于CRDS的传感器组成,该传感器已集成到最
【机 构】
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不详
【出 处】
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计算机与网络
【发表日期】
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2020年7期
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