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对微泵膜片在静电力驱动下产生的形变和由此引起的微泵腔体体积的变化进行了计算机模拟分析，得出了膜片厚度，形状和静电驱动电压对微泵腔体体积变化的影响，以及膜片振动的固有频率与膜片厚度之间关系。研究结果为微泵结构的设计优化提供了依据。
微泵膜片在静电驱动下的计算机模拟
【摘 要】
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对微泵膜片在静电力驱动下产生的形变和由此引起的微泵腔体体积的变化进行了计算机模拟分析，得出了膜片厚度，形状和静电驱动电压对微泵腔体体积变化的影响，以及膜片振动的固有频
【机 构】
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哈尔滨工业大学航天学院,东北传感器研究所
【出 处】
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哈尔滨工业大学学报
【发表日期】
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1998年6期
【基金项目】
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国家教委留学人员回国基金
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